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電容薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。 電容薄膜真空計原理是根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應變而引起電容變化而制成的真空計，它由電容式薄膜規(guī)管（又稱為電容式壓力傳感器）和測量儀器兩部分組成。根據(jù)測量電容的不同方法，儀器結構有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結構。 ...

皮拉尼真空計是一種熱傳導式真空計，屬于直接測量式、全壓型真空計。 皮拉尼真空計原理是加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度，由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發(fā)生變化，熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系。 皮拉尼真空計的優(yōu)點是燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以最大的保護，大大延長了燈絲的使用壽命；兩種原理的規(guī)管全過程都工作；mb...